Substrate SrTiO3
Тавсифи
Як кристалл SrTiO3 дорои сохтори хуби тории маводи сохтори перовскит мебошад.Он як маводи аълои субстрат барои афзоиши эпитаксияи HTS ва аксари филмҳои оксид мебошад.Он дар тадқиқоти филмҳои тунуки суперногузаронии ҳарорати баланд васеъ истифода шудааст.Он инчунин дар тирезаҳои махсуси оптикӣ ва ҳадафҳои пошидани сифати баланд васеъ истифода мешавад.
Хосиятҳо
Самт: (100) +/-0,5 Дег
Нишондиҳандаи самти канор: <001> +/-2 дараҷа ҳамчун вариант бо арзиши иловагӣ дастрас аст
Лаҳистон: Як тараф EPI бо технологияи CMP бо осеби камтари торҳои зеризаминӣ сайқал дода шудааст.
Баста: Дар як халтаи пластикии дараҷаи 100 зери утоқи тозаи синфи 1000 бастабандӣ карда мешавад.
| Сохтори кристаллӣ | Мукааб, a = 3,905 А |
| Усули афзоиш | Вернуил |
| Зичии （г/см3) | 5.175 |
| Нуқтаи обшавӣ （℃） | 2080 |
| Сахтӣ (Mho) | 6 |
| Тавсеаи гармидиҳӣ | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| доимии диэлектрик | ~ 300 |
| Талафоти тангенс дар 10 ГГц | ~ 5x10-4@ 300К, ~3 x10-4@77K |
| Ранг ва намуди зоҳирӣ | Шаффоф (баъзан каме қаҳваранг дар асоси ҳолати annealing). Дугоник нест |
| Устувории химиявӣ | Дар об ҳалнашаванда |
Таърифи субстрат SrTiO3
Субстрати SrTiO3 ба субстрати кристаллии аз титанати пайвастаи стронций (SrTiO3) сохташуда дахл дорад.SrTiO3 як маводи перовскит бо сохтори булӯри мукааб аст, ки бо доимии баланди диэлектрикӣ, устувории баланди гармӣ ва мувофиқати хуби тор бо бисёр маводи дигар хос аст.
Субстратҳои SrTiO3 дар соҳаҳои таҳшиншавии филми тунук ва афзоиши эпитаксиалӣ васеъ истифода мешаванд.Сохтори мукаабии SrTiO3 имкон медиҳад, ки плёнкаҳои тунуки баландсифат бо сифати аълои кристаллӣ ва зичии пасти камбудиҳо афзоиш ёбад.Ин субстратҳои SrTiO3-ро барои парвариши филмҳои эпитаксиалӣ ва гетероструктураҳо барои барномаҳои гуногун хеле мувофиқ месозад.
Қобилияти баланди диэлектрикии SrTiO3 онро барои чунин барномаҳо ба монанди конденсаторҳо, дастгоҳҳои хотира ва плёнкаҳои тунуки ферроэлектрикӣ мувофиқ месозад.Устувории гармии он онро барои барномаҳои ҳарорати баланд мувофиқ мекунад.
Ғайр аз он, хосиятҳои гуногуни SrTiO3, ба монанди гузарониши металлии он дар ҳарорати паст ва имкони ба вуҷуд овардани ҳолати суперноқил, онро барои таҳқиқоти физикаи моддаҳои конденсатӣ ва таҳияи дастгоҳҳои электронӣ ва оптоэлектронӣ муфид мегардонанд.
Хулоса, субстратҳои SrTiO3 субстратҳои кристаллӣ мебошанд, ки аз титанати стронций сохта шудаанд, ки маъмулан дар таҳшин кардани филми тунук, афзоиши эпитаксиалӣ ва доираи васеи барномаҳои электронӣ ва оптоэлектронӣ бо сабаби доимии баланди диэлектрикӣ, устувории гармӣ ва хосиятҳои хуби мувофиқ кардани торҳо истифода мешаванд.
